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真空爐的真空度測(cè)量

2015-04-17關(guān)鍵詞:真空爐的真空度測(cè)量

真空測(cè)量是真空技術(shù)中的一個(gè)重要組成部分。用于測(cè)量真空度的儀器稱為真空計(jì)。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計(jì)有:熱偶真空計(jì)電離真空計(jì)等。它們的工作原理如下:  (一)熱偶真空計(jì)

   熱偶真空計(jì)由敏感元件、熱偶規(guī)管和測(cè)量?jī)x器組成。熱偶規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相通,外殼為玻璃管,管內(nèi)有加熱絲

和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時(shí),由于溫差效應(yīng),在回路中有熱電勢(shì)產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定,則熱偶絲

的電勢(shì)限決于加熱絲的溫度,而加熱絲的溫度與被測(cè)氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。壓強(qiáng)低,氣體熱導(dǎo)率小,被氣體帶走的熱量少,加

熱絲溫度升高,熱偶絲的熱電勢(shì)增大;反之,則熱電勢(shì)減少。回路中的熱電勢(shì)用毫伏表測(cè)量,表中的毫伏數(shù)即反映出真空

度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定,而接入了穩(wěn)壓電源。所以測(cè)量?jī)x器是由測(cè)量熱電勢(shì)的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電

源兩部分組成。

 (二)電離真空計(jì)

  這種真空計(jì)主要用于測(cè)量高真空度。在低壓強(qiáng)氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比按照離產(chǎn)生

的方法不同,利用熱陰**發(fā)射電子使氣體電離的真空計(jì)叫熱陰**電離真空計(jì);其中,熱陰**電離真空計(jì)由熱陰**規(guī)管和測(cè)

量?jī)x器組成。測(cè)量?jī)x器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測(cè)量放大器等部分組成。熱陰**電離規(guī)管與被測(cè)真空系

統(tǒng)相通。熱陰**電離規(guī)管是一個(gè)三**管,管內(nèi)有陰**、柵及和收集**。收集**電位相對(duì)于陰**電負(fù)電位;柵**相對(duì)于陰**

電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后,陰**發(fā)射電子,在電子到達(dá)柵**的過(guò)程中,與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電

離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時(shí),正離子數(shù)日與被測(cè)氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被收集**收集后,經(jīng)測(cè)量電路放大,可由批示電

表讀出所要測(cè)量的真空度。

  (三)復(fù)合真空計(jì)

  通常,對(duì)低真空和高真空的測(cè)量不能用一種真空計(jì)來(lái)完成,而應(yīng)采用復(fù)合真空計(jì),應(yīng)用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真

空計(jì)。它的測(cè)量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計(jì)測(cè)量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;電離真空計(jì)測(cè)量

133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計(jì)附有一個(gè)熱偶規(guī)管、一個(gè)電離規(guī)管,分別接在真空系統(tǒng)上,通過(guò)旋鈕可分別給兩個(gè)規(guī)管加熱,并選擇使用。



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